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日本fuji多組分密度計(jì)FUD-1 Model-53

日本fuji多組分密度計(jì)FUD-1 Model-53

更新日期:2024-05-15

訪問(wèn)量:1288

廠商性質(zhì):經(jīng)銷商

生產(chǎn)地址:

簡(jiǎn)要描述:
日本fuji多組分密度計(jì)FUD-1 Model-53
該型號(hào)在保留 FUD-1 Model-53 的可維護(hù)性和高精度在線測(cè)量等優(yōu)點(diǎn)的同時(shí),采用了用于半導(dǎo)體制造過(guò)程的小型單元型變送器。

日本fuji多組分密度計(jì)FUD-1 Model-53

產(chǎn)品概覽

該型號(hào)在保留 FUD-1 Model-53 的可維護(hù)性和高精度在線測(cè)量等優(yōu)點(diǎn)的同時(shí),采用了用于半導(dǎo)體制造過(guò)程的小型單元型變送器。

多組分密度計(jì)的特點(diǎn)

3 個(gè)組件中的 2 個(gè)組件密度計(jì)側(cè)可以實(shí)時(shí)進(jìn)行

  • 配備模擬DC 4至20mA(2系統(tǒng))和數(shù)字RS232C作為標(biāo)準(zhǔn)設(shè)備

  • 標(biāo)配測(cè)量誤差輸出和報(bào)警輸出

  • 標(biāo)配自診斷功能和錯(cuò)誤信息顯示

  • 緊湊輕便的單元式變送器可直接安裝在線路上

  • 由于使用 PFA 的接液部件的質(zhì)量和小輸出設(shè)計(jì),對(duì)化學(xué)溶液沒(méi)有影響。


優(yōu)點(diǎn)

  • 可進(jìn)行高精度連續(xù)測(cè)量

  • 免維護(hù),無(wú)需定期調(diào)整和校準(zhǔn)

  • 安裝方便,安裝過(guò)程中無(wú)需進(jìn)行各種調(diào)整

  • 通過(guò)實(shí)時(shí)輸出輕松反饋過(guò)程


用途

  • CMP工藝中的CMP漿料和氧化劑濃度控制等。

  • 清洗過(guò)程中清洗液濃度控制(HF+HNO3、HF+H2SiF6等)

  • 蝕刻工藝中蝕刻液濃度控制(TMAH+抗蝕劑、TMAH+Si等)



日本fuji多組分密度計(jì)FUD-1 Model-53

規(guī)格

模型FUD-1 Model-53
 轉(zhuǎn)換器
測(cè)量參數(shù)超聲波傳播速度/溫度/電導(dǎo)率
展示LCD(濃度1、濃度2、溫度、聲速、電導(dǎo)率/各種參數(shù))
輸出信號(hào)模擬DC4~20mA:2系統(tǒng)(可自由設(shè)定濃度值)
數(shù)字RS232C(濃度1、濃度2、聲速、溫度、電導(dǎo)率、錯(cuò)誤代碼)
報(bào)警上限/下限 測(cè)量誤差:2系統(tǒng)
電源AC100V-240V 50/60Hz兩用30VA(也可使用DC24V)
結(jié)構(gòu)體面板安裝型(符合 DIN 標(biāo)準(zhǔn))
環(huán)境溫度傳感器0-50℃
RH 85% 以下(無(wú)凝露)
功能輸出范圍設(shè)置功能、報(bào)警輸出設(shè)置功能、密度顯示移動(dòng)平均功能、密度顯示偏移和增益設(shè)置功能、自診斷功能、故障安全功能、異常值取消功能、溫度時(shí)間常數(shù)校正
選項(xiàng)溫度輸出(DC4~20mA)
RS485輸出(不能與RS232C同時(shí)輸出)
通道(校準(zhǔn)曲線)高達(dá) 7 通道
兼容變送器示例SA-20S29 + 電導(dǎo)率計(jì),SA-20S27 + 電導(dǎo)率計(jì)



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