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    Tokyo Keiso VF3000流量傳感器:半導(dǎo)體制造流程的理想選擇

    發(fā)布時間: 2025-05-09  點擊次數(shù): 121次
      在半導(dǎo)體制造過程中,對超純水、水、低粘度藥液等的流量管理至關(guān)重要。為此,日本Tokyo Keiso公司推出了VF3000系列渦街流量傳感器,該產(chǎn)品以其結(jié)構(gòu)簡單、清潔度高而著稱,非常適合用于這些精密流體的流量控制。
     
      產(chǎn)品特點
     
      VF3000流量傳感器采用PFA(全氟烷氧基樹脂)材質(zhì),這種材料以其優(yōu)異的耐腐蝕性和純凈度而廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造領(lǐng)域。傳感器的設(shè)計簡潔,易于清潔,有助于維持流體的超純度,避免污染。此外,VF3000還具有以下特點:
     
      高清潔度:所有接觸流體的部分均采用PFA材質(zhì),確保了流體的純凈度。
     
      寬流量范圍:能夠測量從0.3升/分鐘到150升/分鐘的流量,適用于多種應(yīng)用場景。
     
      高可靠性:采用卡爾曼渦旋檢測方法,提高了測量的準確性和可靠性。
     
      低壓降:設(shè)計優(yōu)化,減少了流體通過時的壓力損失。
     
      維護簡便:由于結(jié)構(gòu)簡單,減少了維護需求。
     
      技術(shù)規(guī)格
     
      VF3000系列流量傳感器的技術(shù)規(guī)格如下:
     
      測量流體:超純水、純水、水、低粘度化學(xué)品。
     
      流體溫度:0 ~ 90°C。
     
      流體壓力:0 ~ 0.5 兆帕。
     
      流量范圍:根據(jù)型號不同,從0.3升/分鐘到150升/分鐘不等。
     
      精度:±3% F.S.。
     
      材料:身體和管道采用新PFA,接頭可采用PFA或NewPFA,渦旋探測器采用壓電元件(用新PFA模制)。
     
      過程連接:PFA管端或各種接頭,連接管尺寸根據(jù)型號不同而有所差異。
     
      輸出:提供電流輸出、脈沖輸出和帶電流/報警輸出的顯示模式。
     
      電源:直流10.8 ~ 26.4V、0.5 ~ 2W。
     
      防護等級:IP64(JIS C0920 防睫毛結(jié)構(gòu))。
     
      應(yīng)用場景
     
      VF3000系列流量傳感器適用于半導(dǎo)體制造過程中的超純水、水、低粘度藥液等的流量管理。此外,它還適用于需要高清潔度的其他工業(yè)應(yīng)用,如制藥、食品加工等。
     
      結(jié)論
     
      Tokyo Keiso的VF3000系列流量傳感器以其高清潔度、寬流量范圍和高可靠性,成為半導(dǎo)體制造過程中理想的流量控制解決方案。其簡潔的設(shè)計和優(yōu)異的性能使其在多種工業(yè)應(yīng)用中都能發(fā)揮重要作用。
     
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